辽宁乐成研制出海内首套应用于集成电路生产线的IC装备机械手及硅片传输系统
日前 ，由沈阳新松机械人自动化股份有限公司担负的国家科技重大专项“IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与工业化”项目在沈阳顺利通过技术和财务验收。项目开发的两大类直驱型真空机械手产品、新型大气机械手系列化产品、面向光刻机硅片传输的单双臂机械手产品和面向刻蚀机、CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）和CMP（化学机械抛光）等整机设备配套的EFEM（设备前端�？椋┫盗谢� ，可以广泛应用在集成电路的多个领域 ，是我国在集成电路领域取得的一项重大研究结果 ，彻底突破了外洋的技术封闭。
该项目由沈阳新松机械人自动化股份有限公司联合上海交通大学、哈尔滨工业大学等海内著名高校接纳产学研相助方法 ，进行联合攻关。通过攻克真空（超净）情况下的大间隙直接驱动电机和控制、多轴同轴直接驱动与真空隔离、高真空与高洁净情况下精密伺服控制、真空机械手新构型等共性要害技术 ，乐成研制出了真空机械手产品、新型大气机械手系列化产品、面向光刻机硅片传输的单双臂机械手产品以及EFEM系列化产品。并在北京北方微电子设备有限公司、沈阳芯源微电子设备有限公司等企业完成了示范应用 ，实现了IC装备机械手及系统装备的国产化。项目执行周期内 ，累计实现种种机械手、EFEM等设备销售收入16042.27万元。
该项目是我国在集成电路领域 ，在洁净物料自动传输偏向进行的一次实验和探索 ，项目研发的具有自主知识产权的IC装备机械手及硅片传输系统不但满足了本国企业的迫切需求 ，同时突破了外洋IC装备企业在海内的垄断职位 ，降低了晶圆制造企业生产本钱 ，实现了半导体行业物料搬运和自动化妆载系统的国产化 ，进而推动了我国IC装备工业的生长 ，并发动整个装备制造的工业链的生长 ，加速了我国装备制造业向高端领域进军。
来源：辽宁省科技厅
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